深圳市恒运昌真空技术股份有限公司成立于2013年，主要产品包括以射频电源、匹配器为代表的等离子体电源系统，以及真空环境获得和控制所需的其他核心零部件，并提供相关技术服务。公司是国家级高新技术企业、专精特新 小巨人 企业，是国内领先的半导体核心零部件整体解决方案商，为半导体、集成电路国产化贡献核心力量。
